來(lái)源：愛(ài)集微 作者：韓秀榮

集微網(wǎng)消息，半導(dǎo)體材料作為集成電路產(chǎn)業(yè)的基石，在集成電路制造技術(shù)不斷升級(jí)和產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展中扮演著重要角色。近年來(lái)，在汽車(chē)電子、5G通訊、智能終端等新興領(lǐng)域強(qiáng)勁帶動(dòng)下，國(guó)家政策支持等多重因素的推動(dòng)下，集成電路產(chǎn)業(yè)繼續(xù)保持穩(wěn)健發(fā)展，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料也迎來(lái)持續(xù)增長(zhǎng)。

從今年兩會(huì)代表的建言和關(guān)注的細(xì)分方向看，關(guān)于半導(dǎo)體材料領(lǐng)域主要聚焦“電子特氣”等集成電路用電子材料領(lǐng)域的“國(guó)產(chǎn)化”“扶持力度””人才培養(yǎng)”等。

電子特氣是集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)性材料。電子特種氣體主要用于集成電路、顯示面板、LED（發(fā)光二極管）、光伏等領(lǐng)域，其中，集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用占比最高為43%。

據(jù)了解，近年來(lái)在國(guó)家政策支持等多重因素的推動(dòng)下，我國(guó)電子特氣產(chǎn)能逐步釋放，部分產(chǎn)品性能可比肩國(guó)際先進(jìn)水平，達(dá)到了集成電路用電子氣體的工藝要求。但是目前多數(shù)國(guó)內(nèi)企業(yè)仍處于探索、布局階段，近九成市場(chǎng)仍被外資頭部企業(yè)占據(jù)，進(jìn)口依賴(lài)度高。當(dāng)前電子特氣受制于人的局面尚未徹底扭轉(zhuǎn)，國(guó)產(chǎn)化水平亟待提升。

為此，全國(guó)人大代表、聯(lián)泓新材料科技股份有限公司董事長(zhǎng)鄭月明建議，加大政策支持力度，推動(dòng)電子特氣產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。

鄭月明建議，加強(qiáng)頂層設(shè)計(jì)，引導(dǎo)產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展；加大電子特氣創(chuàng)新研發(fā)支持力度，增強(qiáng)人才支撐；大力支持電子特氣國(guó)產(chǎn)化和市場(chǎng)應(yīng)用，出臺(tái)相關(guān)政策鼓勵(lì)產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)作，共同建設(shè)協(xié)同創(chuàng)新體系；利用資本市場(chǎng)的力量進(jìn)一步支持優(yōu)質(zhì)電子特氣企業(yè)做大做強(qiáng)，提升我國(guó)電子特氣產(chǎn)業(yè)的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。

同樣是關(guān)于電子特氣發(fā)展，全國(guó)人大代表，中國(guó)船舶集團(tuán)有限公司第七一八研究所黨委委員、副所長(zhǎng)郭建增建議，國(guó)家進(jìn)一步加大對(duì)電子特氣產(chǎn)業(yè)扶持力度，快啟動(dòng)國(guó)家電子特氣重大專(zhuān)項(xiàng)。

郭建增表示：“為推進(jìn)我國(guó)電子特氣企業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，爭(zhēng)取更大國(guó)際話(huà)語(yǔ)權(quán)，保障國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的安全，建議國(guó)家進(jìn)一步加大對(duì)電子特氣產(chǎn)業(yè)扶持力度。”

郭建增指出，受惠于國(guó)家政策及資金的扶持力度增加，我國(guó)的電子特氣企業(yè)已陸續(xù)解決了部分電子特氣材料國(guó)產(chǎn)化問(wèn)題，但仍存在一些問(wèn)題：多種產(chǎn)品處于“卡脖子”狀態(tài)，關(guān)鍵技術(shù)存在差距，國(guó)內(nèi)電子特氣企業(yè)起步晚、發(fā)展慢。

郭建增建議，盡快啟動(dòng)國(guó)家電子特氣重大專(zhuān)項(xiàng)，以電子特氣龍頭企業(yè)為牽頭單位，聯(lián)合國(guó)內(nèi)電子特氣相關(guān)企業(yè)，同時(shí)引入上游原物料、儀器設(shè)備、零備件等企業(yè)，下游重點(diǎn)集成電路制造企業(yè)，共同研發(fā)卡脖子氣體。同時(shí)，他指出，針對(duì)未實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化的電子特氣產(chǎn)品，聚力突破當(dāng)前電子特氣受制于人的關(guān)鍵核心技術(shù)，開(kāi)展電子特氣全譜系產(chǎn)品研發(fā)規(guī)劃，力爭(zhēng)用三年時(shí)間，徹底解決國(guó)家電子特氣”卡脖子”問(wèn)題。

光刻膠又稱(chēng)光致抗蝕劑，是利用光化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移的載體。在微電子加工技術(shù)中，光刻工藝就是通過(guò)光刻膠將集成電路和半導(dǎo)體分立器件的微細(xì)電路圖形從掩膜版轉(zhuǎn)移至待加工的基片上，然后再進(jìn)行刻蝕、擴(kuò)散、離子注入及金屬化等工藝。

隨著IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對(duì)光刻膠的要求也越來(lái)越高。光刻膠的種類(lèi)主要包括紫外型光刻膠、深紫外型光刻膠、輻射線光刻膠，集成電路制造工藝中采用的主流技術(shù)是紫外型和深紫外型光刻技術(shù)。目前，我國(guó)KrF、ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化率極低，在海外企業(yè)供應(yīng)鏈不穩(wěn)定的大背景下，國(guó)產(chǎn)替代有望提速。

在國(guó)產(chǎn)光刻膠這條賽道上，徐州博康信息化學(xué)品有限公司貫通IC光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈，有望打通半導(dǎo)體材料自主化最關(guān)鍵一環(huán)持續(xù)崛起。全國(guó)人大代表、徐州博康信息化學(xué)品有限公司董事長(zhǎng)傅志偉表示，將提出關(guān)于在半導(dǎo)體領(lǐng)域加速?lài)?guó)產(chǎn)化替代步伐，建設(shè)自主可控產(chǎn)業(yè)鏈的建議。

“我們希望能夠出臺(tái)相應(yīng)的政策，推動(dòng)國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈更加細(xì)化，對(duì)產(chǎn)業(yè)進(jìn)行精準(zhǔn)扶持。”傅志偉表示，作為集成電路領(lǐng)域工作的參與者，當(dāng)前中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)跟國(guó)外相比存在著一定距離。隨著半導(dǎo)體行業(yè)國(guó)產(chǎn)化替代要求越來(lái)越高，我們?nèi)绾渭哟髧?guó)產(chǎn)化力度，使中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體水平提升，奮力打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“芯”高地，是當(dāng)下要考慮的問(wèn)題。

目前，徐州博康信息化學(xué)品有限公司已實(shí)現(xiàn)“單體——樹(shù)脂、光酸——光刻膠”產(chǎn)業(yè)鏈全覆蓋。在過(guò)去的十余年中，徐州博康完成中高端半導(dǎo)體光刻膠材料產(chǎn)品的國(guó)際化銷(xiāo)售，逐步建立起了全面自主可控的光刻膠供應(yīng)鏈。據(jù)傅志偉介紹，徐州博康前身上海博康從2005年開(kāi)始研發(fā)單體，并掌握單體提純的先進(jìn)工藝，能夠把單體的金屬離子雜質(zhì)含量控制在1ppb以下。

此外，全國(guó)人大代表、山東有研半導(dǎo)體材料股份有限公司總經(jīng)理張果虎格外關(guān)注集成電路關(guān)鍵材料基地建設(shè)。

有研半導(dǎo)體硅材料股份公司目前主要從事硅及其它半導(dǎo)體材料、設(shè)備的研究、開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)與經(jīng)營(yíng)，提供相關(guān)技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和技術(shù)咨詢(xún)服務(wù)?，F(xiàn)有山東德州和北京順義兩處國(guó)內(nèi)一流的半導(dǎo)體硅材料生產(chǎn)基地，主要產(chǎn)品包括集成電路用硅單晶及硅片、集成電路刻蝕工藝用大直徑硅單晶及制品、區(qū)熔硅單晶及硅片等。

張果虎表示：“我們非常關(guān)注科技創(chuàng)新的工作，因?yàn)樽鳛榘雽?dǎo)體領(lǐng)域的企業(yè)，科技創(chuàng)新是我們的首要任務(wù)，也是未來(lái)競(jìng)爭(zhēng)的焦點(diǎn)。未來(lái)五年是加速追趕的機(jī)遇期，所以我們也希望政府加大稅收、投資方面支持力度，提升集成電路產(chǎn)業(yè)鏈競(jìng)爭(zhēng)力。”

全國(guó)人大代表、河南光遠(yuǎn)新材料股份有限公司董事長(zhǎng)李志偉建議，加大力度支持集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目盡早進(jìn)入資本市場(chǎng)，加大對(duì)高科技、“卡脖子”的戰(zhàn)略性先進(jìn)電子材料項(xiàng)目的支持力度。

李志偉指出，集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)備受資本市場(chǎng)青睞，產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)大多是上市企業(yè)。集成電路產(chǎn)業(yè)具有項(xiàng)目投資大、寡頭效應(yīng)凸顯、產(chǎn)品研發(fā)創(chuàng)新周期長(zhǎng)、行業(yè)波動(dòng)明顯等特點(diǎn)，在當(dāng)前資本市場(chǎng)全面實(shí)行股票發(fā)行注冊(cè)制改革情況下，建議加大力度支持該產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目盡早進(jìn)入資本市場(chǎng)，利于集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

為加快推進(jìn)國(guó)家集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展，李志偉提出建議，加大對(duì)5G低介電材料、CPU封裝用LOW—CTE材料等高科技、“卡脖子”的戰(zhàn)略性先進(jìn)電子材料項(xiàng)目的支持力度，列入國(guó)家重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)，推動(dòng)該類(lèi)產(chǎn)業(yè)填空白、補(bǔ)短板。同時(shí)建議加強(qiáng)集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)高端人才和技術(shù)人才培養(yǎng)，鼓勵(lì)高校、研究機(jī)構(gòu)有針對(duì)性開(kāi)展專(zhuān)業(yè)課題研究，協(xié)助技術(shù)攻關(guān)；鼓勵(lì)高校開(kāi)設(shè)集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)高端技術(shù)人才培養(yǎng)課程。（校對(duì)/劉沁宇）